P80一维Z 向/二维XY方向压电定位器 110μm当前位置:产品首页 >> 压电显微扫描台定制>>P80一维Z 向/二维XY方向压电定位器 110μm
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        一维Z轴压电平移台,包含直驱机构式与放大机构式两种结构形式,一维Z轴运动,产品体积小巧,运动行程从5.5μm至110μm多种规格型号可供选择。

特点:            

        • 一维Z轴运动         • 体积小巧             • 闭环定位精度高           • 电阻与电容传感器可选

P80系列技术参数

型号

P80.Z100S

P80.Z100K

P80.XY100S

P80.XY100K

标称行程范围(0~120V)

80

80/ 轴

μm±20%

最大行程范围(-20~150V)

110

110/

μm±20%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

闭 / 开环分辨率

7.5/3

7.5/3

nm

闭环线性度

0.1/-

0.15/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.05/-

0.05/-

%F.S.

推 / 拉力

30/10

30/10

N

运动方向刚度

0.4

X0.3/Y0.4

N/μm±20%

空载谐振频率

0.4

X0.3/Y0.4

kHz±20%

最大承载

0.8

0.7

kg

静电容量

1.8

1.8/ 轴

μF±20%

材质

重量

50

80

g±5%

 

陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

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