N63二维XY向压电扫描台 8μm 中孔ф62mm 当前位置:产品首页 >> 压电显微扫描台定制>>N63二维XY向压电扫描台 8μm 中孔ф62mm
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       N63系列二维纳米级精密定位台,产品结构紧凑,中心大透光孔,非常适合于显微及扫描中的样品定位。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品可实现纳米级的分辨率,毫秒级的响应时间。

特点:

        •尺寸:138mm×135.5mm×17mm               行程范围:8μm               分辨率:0.2nm
        •透光孔径:62mm                                     内置高性能压电陶瓷           开/闭环可供选择

 

N63技术参数

型号

N63.XY7S

N63.XY7K

单位

运动自由度

X,Y

X,Y


传感器类型

SGS

-


标称行程范围(0~+120V)

5

5

μm±20%

最大行程范围(-20~+150V)

8

8

μm±20%

分辨率

0.6

0.2

nm

闭环线性度

0.1

-

%F.S.

重复定位精度

0.05

-

%F.S.

推/拉力

100/20

100/20

N

最大承载

30

30

N

静电容量

0.8

0.8

μF/轴±20%

空载谐振频率

350

350

Hz±20%

100g负载谐振频率

200

200

Hz±20%

工作温度

-20~80

-20~80

°C

材质


重量

500

500

g±5%

线长

1.5

1.5

m±10mm



陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

 

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