P12.XYZ-D3三维XYZ压电扫描台 110μm ф35mm当前位置:产品首页 >> 三维中空式压电扫描台>>P12.XYZ-D3三维XYZ压电扫描台 110μm ф35mm
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P12.XYZ-D3三维中空式压电扫描台技术参数:

型号

闭环-S
开环-K

P12.XYZ100S-D3
P12.XYZ100K-D3

单位

标称行程范围
(0 ~+120 V)

80/轴

µm±20%

最大行程范围
(-20~+150 V)

110/轴

µm±20%

传感器类型

SGS/-

 

通孔尺寸

Ф35

mm±0.05

闭/开环分辨率

7/4

nm

闭环线性度

0.15/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1/-

%F.S.

推/拉力

20/4

N

运动方向刚度

0.2

N/µm±20%

空载谐振频率

150

Hz±20%

最大承载能力

0.5

Kg

静电容量

1.8/轴

μF±20%

材质

钢、铝

 

重量

300

g±5%

  • 客户类别:
    经销商 最终用户
  • 客户类型:
    企业 高校 研究所
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