P16.XY二维XY向压电扫描台 50μm 中孔ф20mm当前位置:产品首页 >> 二维中空式压电扫描台>>P16.XY二维XY向压电扫描台 50μm 中孔ф20mm
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       P16.XY二维XY轴压电扫描台,产品结构紧凑,中心大透光孔,非常适合于显微及扫描中的样品定位。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品可实现纳米级的分辨率,毫秒级的响应时间。


特点

     • XY二维运动                • 开环/闭环可选               • 最大行程55μm               • 中孔尺寸Φ20mm

 

外观形状 产品运动示意图


 

叠加结构与一体结构
       二维XY运动,集成式一体结构比单轴叠加方式组成的多维压电扫描台结构更紧凑,体积更小巧。电阻应变片与电容传感器可选。

 

平稳和精确的扫描圆形驱动
       精准圆形驱动控制,可以通过精切定位XY平台的每一轴,采用正弦波90°相差输入,也可以通过PID修正位移进行调整,根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳精确。

 

应用

     •纳米定位                •生物科技               •纳米操作               •AFM               •纳米压印               •纳米光刻               •显微成像               •共焦显微

P16.XY50技术参数

型号

P16.XY50S

P16.XY50K

单位

运动自由度

XY

S


传感器类型

SGS

-


标称行程范围(0 ~+120 V

40/

S

µm±20%

最大行程范围(-20~+150 V

55/

S

µm±20%

分辨率

10

5

nm

闭环线性度

0.5

-

%F.S.

重复定位精度

0.1

-

%F.S.

/拉力

30/10

S

N

刚度

0.5/0.5

S

N/μm±20%

最大承载能力

1.5

S

Kg

静电容量

1.8/

S

μF±20%

空载谐振频率

200

S

Hz±20%

材质

钢、铝

S


重量

200

S

g±5%

出线长

1.5

S

10mm


陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

推荐控制器

E00/E01

E70

XE-708

 

 

 

3路输出
多种控制方式
开环/闭环
功率7W/35W

3路输出
模拟与数字控制
开环/闭环
平均功率5W

2路输出
模拟控制
开环/闭环
平均功率7W


  • 客户类别:
    经销商 最终用户
  • 客户类型:
    企业 高校 研究所
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