P12.XY二维XY向压电扫描台 110μm 中孔ф25mm当前位置:产品首页 >> 二维中空式压电扫描台>>P12.XY二维XY向压电扫描台 110μm 中孔ф25mm
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       P12.XY二维XY轴压电扫描台,结构紧凑,外形尺寸60×60×24mm,最大行程可达110μm。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率,毫秒级的响应时间,台体中心中孔尺寸达Φ25mm,非常适合于显微及扫描中的样品定位。


特点

     • XY二维运动                • 开环/闭环可选               • 最大行程110μm               • 中孔尺寸Φ25mm

 

外观形状 产品运动示意图


 

叠加结构与一体结构
       二维XY运动,集成式一体结构比单轴叠加方式组成的多维压电扫描台结构更紧凑,体积更小巧。电阻应变片与电容传感器可选。

 

平稳和精确的扫描圆形驱动
       精准圆形驱动控制,可以通过精切定位XY平台的每一轴,采用正弦波90°相差输入,也可以通过PID修正位移进行调整,根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳精确。

 

应用

     •纳米定位                •生物科技               •纳米操作               •AFM               •纳米压印               •纳米光刻               •显微成像               •共焦显微

P12.XY技术参数

型号

P12.XY100S

P12.XY100K

单位

运动自由度

XY

S


传感器类型

SGS

-


标称行程范围

0 ~+120 V

80/

S

µm±20%

最大行程范围(-20~+150 V

110/

S

µm±20%

分辨率

7

4

nm

闭环线性度

0.05

-

%F.S.

重复定位精度

0.03

-

%F.S.

/拉力

25/8

S

N

刚度

0.25/0.3

S

N/µm±20%

最大承载能力

700

S

g

静电容量

1.8/

S

μF±20%

空载谐振频率

230/180

S

Hz±20%

材质

钢、铝

S


重量

140

S

g±5%

出线长

1.5

S

m±10mm


推荐控制器

E00/E01

E70

XE-708

 

 

 

3路输出
多种控制方式
开环/闭环
功率7W/35W

3路输出
模拟与数字控制
开环/闭环
平均功率5W

2路输出
模拟控制
开环/闭环
平均功率7W


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    经销商 最终用户
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    企业 高校 研究所
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