P12.XY/XZ-D3二维XY/XZ向扫描台 110μm ф35mm当前位置:产品首页 >> 二维中空式压电扫描台>>P12.XY/XZ-D3二维XY/XZ向扫描台 110μm ф35mm
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P12.XY/XZ-D3二维中空式压电扫描台技术参数:

型号

闭环-S
开环-K

P12.XY100S-D3
P12.XY100K-D3

P12.XZ100S-D3
P12.XZ100K-D3

单位

标称行程范围
(0 ~+120 V)

80/轴

80/轴

µm±20%

最大行程范围
(-20~+150 V)

110/轴

110/轴

µm±20%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

 

通孔尺寸

Ф35

Ф35

mm±0.05

闭/开环分辨率

7/4

7/4

nm

闭环线性度

0.12/-

0.12/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.08/-

0.08/-

%F.S.

推/拉力

25/8

25/8

N

运动方向刚度

0.25

0.25

N/µm±20%

空载谐振频率

200

200

Hz±20%

最大承载

0.6

0.6

Kg

静电容量

1.8/轴

1.8/轴

μF±20%

材质

钢、铝

钢、铝

 

重量

280

280

g±5%

  • 客户类别:
    经销商 最终用户
  • 客户类型:
    企业 高校 研究所
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