P78.Z一维Z向压电扫描台 300μm 中孔64mm*64mm当前位置:产品首页 >> 一维中空式压电扫描台>>P78.Z一维Z向压电扫描台 300μm 中孔64mm*64mm
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      P78.Z一维Z轴压电扫描台,中心具有通孔,最大扫描范围可达300μm,闭环扫描台精度更高,直线运动无偏航。产品广泛应用于表面测量、显微成像等应用领域。


特点

     • Z轴运动                • 开环/闭环可选               • 最大行程300μm               • 中孔尺寸64mm×64mm

 

外观形状 产品运动示意图


 

平稳和精确的扫描圆形驱动
       精准圆形驱动控制,可以通过精切定位XY平台的每一轴,采用正弦波90°相差输入,也可以通过PID修正位移进行调整,根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳精确。

 

应用

     •纳米定位                •生物科技               •纳米操作               •AFM               •纳米压印               •纳米光刻               •显微成像               •共焦显微

P78.Z300技术参数

型号

P78.Z300S

P78.Z300K

单位

运动自由度

Z

S


传感器类型

SGS

-


标称行程范围(0 ~+120 V

210

S

µm±20%

最大行程范围(-20 ~+150 V

300

S

µm±20%

分辨率

10

5

nm

闭环线性度

0.15

-

%F.S.

重复定位精度

0.05

-

%F.S.

/拉力

30/5

S

N

运动方向刚度

0.15

S

N/µm±20%

承载能力

0.5

S

Kg

静电容量

7.2

S

μF±20%

空载谐振频率

150

S

Hz±20%

材质

S


重量

300

S

g±5%

出线长

1.5

S

m±10mm


陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

推荐控制器

E01 

XE-709 

E72 

 

 

 

1路输出
多种控制方式
开环/闭环
功率7W/35W

1路输出
上位机通信
开环/闭环
功率15W

1路输出
模拟数字控制
开环/闭环
功率6W


  • 客户类别:
    经销商 最终用户
  • 客户类型:
    企业 高校 研究所
  • 顾客单位名称:
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