P72.Z一维Z向压电物镜驱动器 110μm当前位置:产品首页 >> 压电物镜定位器>>P72.Z一维Z向压电物镜驱动器 110μm
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        压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的,采用无回差柔性铰链并联导向结构设计,物镜补偿量较小,具有超高聚焦稳定性,物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动镜片聚焦提高精度,可与多种高分辨率的显微镜配合使用。

      P72.Z100系列为小体积高动态压电物镜定位器,Z轴最大行程110μm,优异的平行四边形设计原理,无摩擦、无空回,响应速度极快,采用分离式螺纹适配器,可适配多种型号的显微镜。 

 

特性

       位移行程110μm                        闭环定位精度高                       毫秒级响应时间                       最大承载200g

 

产品组成及运动方向 产品运动示意图



 可装配多种品牌、尺寸的物镜  响应时间可调节
        多种螺纹牙尺寸可选,可配置不同品牌的物镜,也可选择螺纹牙转接器进行转接。         配不同控制与承载响应时间可调。

 


驱动方式 闭环曲线



应用

      • 高速聚焦                        图像处理                        共焦点显微镜                        半导体检测

       激光加工                        干涉形状测量

P72.Z100技术参数

型号

P72.Z100S

P72.Z100K

单位

运动自由度

Z

S


传感器类型

SGS

-


标称行程范围(0 ~+120 V

80

S

µm±20%

最大行程范围(-20 ~+150 V

110

S

µm±20%

分辨率

5

2.5

nm

闭环线性度

0.1

-

%F.S.

重复定位精度

0.05

-

%F.S.

/拉力

110/15

S

N

刚度

1.4

S

N/µm±20%

承载能力

200

S

g

静电容量

3.6

S

μF±20%

空载谐振频率

350

S

Hz±20%

材质

S


重量

130

S

g±5%

出线长

1.5

S

m±10mm


陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

推荐控制器 

E01

XE-709

XE-650


 

 

 

1路输出
多种控制方式
开环/闭环
功率7W/35W

1路输出
上位机通信
开环/闭环
功率15W

1路输出
模拟,旋钮,I/O控制
开环/闭环
平均功率6W


  • 客户类别:
    经销商 最终用户
  • 客户类型:
    企业 高校 研究所
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