N90.XYZTR1六自由度并联机构 13μm当前位置:产品首页 >> 六自由度并联系统>>N90.XYZTR1六自由度并联机构 13μm
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       N90系列六自由度并联机构,是θx, θy, θz, X, Y, Z六轴运动工作台,通过六支压电促动器的协调伸缩实现空间内六个自由度的运动,台体结构紧凑,三种规格型号可供选择,闭环型号定位精度高,是六自由度微操作、微电子精密加工等应用的首选。

特性

       • θx, θy, θz, X, Y, Z              • 闭环定位精度高                  • 超小耦合                    • 误差无积累

N90.XYZTR1技术参数

型号

N90.XYZTR1S

N90.XYZTR1K

单位

运动自由度

X,Y,Z,θx,θy,θz

S


XY轴标称行程范围(0~120V

±6.5

S

um±20%

Z轴标称行程范围(0~120V

±3.2

S

um±20%

θx,θy轴标称行程范围(0~120V

±0.16

S

mrad±20%

θz轴标称行程范围(0~120V

±0.24

S

mrad±20%

刚度

50

S

N/um±20%

重量

1

S

kg±20%

重复精度

0.1

-

%F.S.

闭环线性度

0.25

-

%F.S.

结构形式

六自由度并联式


驱动方式

压电陶瓷驱动


最大承载

5

kg

谐振频率

1

kHz±5%

标称行程驱动电压为:0~120V,最大行程驱动电压可到-20~150V


陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

驱动控制


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