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技术参数

型号 

开环-K 

移相器 

偏摆台 

  

P36.Z1K

P36.ZT1K 

单位 

运动自由度 

Z 

Z、θx、θy 

  

θx、θy标称偏转角度(0 ~+120 V) 

- 

550 

µrad±20% 

Z向标称行程(0 ~+120 V) 

8 

8

µm±20% 

θx、θy最大偏转角度(-20~+150 V) 

- 

800 

µrad±20% 

Z向最大行程(-20~+150 V) 

12 

12 

µm±20% 

Z向分辨率 

0.1 

0.1 

nm 

θx、θy分辨率 

- 

0.02 

urad 

空载谐振频率 

7.5 

7.5 

kHz±20% 

静电容量 

0.4/轴 

0.4/轴 

μF±20% 

材质 

 

 

  

重量 

50 

80 

g±5% 



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    经销商 最终用户
  • 客户类型:
    企业 高校 研究所
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