XP-63X一维X向压电纳米定位台 17μm-68μm当前位置:产品首页 >> 一维压电纳米定位台>>XP-63X一维X向压电纳米定位台 17μm-68μm
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      XP-63X直驱压电平移台,是一维X轴运动压电定位台,采用压电陶瓷直驱机构的设计原理,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率、定位精度具有极高的可靠性,压电平移台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用。

 特性

     • 最大位移68μm                   • 电阻与电容传感器可选                  • 最大承载5kg

 

直驱机构式驱动示意图

传感器类型



 

应用

     • 光纤端面检测            • 光纤对接          • 硬盘测试             • 电化学加工          • 3D锡膏检测

XP-63X技术参数

型号

XP-630.1SL

XP-631.1SL

XP-633.1SL

XP-630.1OL
XP-631.1OL
XP-633.1OL

单位

运动自由度

X

X

X

X

传感器类型

SGS

SGS

SGS

-

标称行程范围(0~120V)

12

24

48

同S

μm±20%

最大行程范围(-20~150V)

17

34

68

同S

μm±20%

分辨率

0.5

1

2

0.1/0.2/0.3

nm

闭环线性度

0.1

0.15

0.15

-

%F.S.

重复定位精度

0.05

0.05

0.1

-

%F.S.

运动方向的刚度

40

20

10

同S

N/μm±20%

运动方向的推/拉力

480/80

480/80

480/80

同S

N

空载谐振频率

3.2

2.4

1.5

同S

kHz±20%

最大承载

5

5

5

同S

kg

静电容量

1.8

3.6

7.2

同S

μF±20%

材质

同S

重量

0.15

0.25

0.45

同S

kg±5%

出线长

1.5

1.5

1.5

同S

m±10mm

最大驱动电压可在-20V~150V使用;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压0~120V。


陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

推荐控制器

E01

XE-709

XE-650




1路输出
多种控制方式
开环/闭环
功率7W/35W

1路输出
上位机通信

开环/闭环

平均功率15W

1路输出
模拟,旋钮,I/O控制
开环/闭环
平均功率6W



  • 客户类别:
    经销商 最终用户
  • 客户类型:
    企业 高校 研究所
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